十一月二十日。
清嘉微电子联合研究中心。
陈默刚走进三楼会议室,便看见长桌旁已经坐满了人。
顾绍庭、吴华强、魏军都在。
负责先进封装的梁教授坐在投影幕布旁,面前摊着十几张截面图。
陈静站在投影幕布前。
她穿着一件宽松的灰色卫衣,头发简单扎在脑后,鼻梁上架着那副防蓝光眼镜。
连续几天没有好好休息,眼底已经浮出淡淡青色,整个人却显得十分兴奋。
“继续,不用管我。”陈默拉开后排角落的椅子,安静坐下。
幕布上是一组惨不忍睹的测试数据。
第一代验证芯片由于采用了2.5D芯粒拼接,计算与存储单元必须通过硅中介层实现高密度连接。
可近一个月来,封装组被一个死穴折磨得痛不欲生,连接点在高低温循环后,电阻剧烈上升,最严重的甚至直接断路。
为了这事,封装组洗过晶圆、调过压力,甚至有人提出要把连接点结构全部推翻重来。
可一旦重来,前面的版图和掩膜全废,项目至少延期两个月!
“这是前三批失效样片的坐标图。”
陈静按下翻页笔,数百个醒目的红点瞬间刺破了平静。
“如果不按时间,而是按空间坐标把三批数据叠加,就会发现问题根本不在表面污染,而是精准集中在距晶圆边缘四到六毫米的环形区域。”
梁教授眉头一紧:“结论是什么?”
“温度和应力。”
陈静声音掷地有声:“以往的工艺是一次性快速升温。薄化后的硅片与载片热膨胀不一致,在升温最剧烈的那九十秒里,晶圆边缘发生了微米级的微小翘曲。当时看不出来,经过几轮冷热循环,隐患就会被无限放大。”
封装组的一名老研究员忍不住开口:“不对啊,设备监测的翘曲平均值完全在安全线以内。”
“那是被平均数骗了。”
陈静直接切出一张被无限放大的波峰图:“系统生成的是整片平均数据,抹掉了那九十秒内边缘区域的瞬时剧烈波动。”
瞬间,整个会议室鸦雀无声。
梁教授猛地坐直了身体,翻开手中的报告,倒吸一口凉气:“这些毫秒级的原始记录有上万条……你一个人全部重新清洗、分类、做了交叉验证?!”
“写了个小程序
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