稳定在零点一纳米。
他把检测报告打印出来，在最后一页签了字，然后把报告递给许锋：
“所有指标都稳定。两周的验证期今天开始，每天抽检一片晶圆，数据汇总之后归档。”
苏工走到光刻机控制面板前面，调出系统日志，新建了一个加密文件夹，把升级后的所有技术参数拖进去，文件夹起了一个完全不相关的名字。
然后他关闭了光刻机的网络连接模块，把控制系统的对外通信接口全部禁用。
“消息封锁了。这台光刻机的精度数据只保存在洁净车间内的独立服务器上，外部网络无法访问。”
苏工转过身来看着许锋：
“两周验证期满之后，如果需要正式汇报，我们手上有完整的数据链支持。如果不需要，这些数据就是内部资料。”
许锋点了点头：“就这样。古工、苏工，这两周的生产排程你们排好，核心处理器的芯片放在第一批。孙国栋那边激光器光学组件的精度要求最高，芯片做完之后立刻接上。陈工和赵明远的需求排在第三批。”
“明白。”古工和苏工同时回答。
许锋推开洁净车间的门，沿着走廊往楼下走。
路过厂区的时候，秦师傅正从加工中心里走出来，手里拿着刚加工完的一批精密组件。
他看到许锋下来，快步走过来说：
“许大队长，苏工昨天晚上加急定的那批运动平台备用件我已经做好了，精度比上次高了整整一个数量级，也不知道他那边光刻机精度怎么突然蹦上去那么多。”
许锋脚步没停，朝他挥了一下手：
“放苏工工位上，他会来拿。”
“好。”秦师傅应了一声，低头看了看手里的组件，又抬头看了看许锋的背影，对旁边一个工人低声说。
“这两天不知道咋回事，要的零件一个比一个精密，而且要求越来越高。”
三天后，许锋再次走进洁净车间的时候，古工正站在检测工位旁边。
面前的托盘里整齐排列着刚下线的第一批自主芯片，每一片都只有指甲盖大小。
古工拿起一片放进扫描电子显微镜，屏幕上跳出密密麻麻的电路结构图。
线宽均匀，套刻精准，缺陷密度降到了基础版时期的近百分之一，每一项指标都在系统标注的合格范围以内。
不
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