括气泡和污染，还有抗蚀剂与流体或面漆的相容性问题，抗蚀剂的折射指数如何能大于1.8等等一系列问题都无法克服。”
听不懂......
“刘所长怎么想的？”顾北皱眉问道。
“他开始笑我有些异想天开，我据理力争最后他同意我带几个人独自试验，不过到最后还是他说的对，我们又集中力量开始攻关干式微影，白白浪费了几个月时间。”
张文华说道最后有些不好意思。
“其实，你的研究方向是对的。”
顾北突然说出这句话，让张文华吃了一惊：“你说我的方向是正确？”
顾北点点头：“我问你，从理论上讲用液体做介质到底有没可能攻克这个难题？”
“理论上说是可行，但是实际遇到的问题很多，除了我刚才说的，还有折射指数大于1.65的流体满足粘度、吸收和流体循环要求…….”张文华也不管顾北听的懂听不懂，又开始解释起来。
“好了，不说这个……”顾北打断他的话，“明天我就找你刘所长，研发方向放到液体做介质浸润式微影技术！”
顾北的语气不容置疑。
虽然他听不懂张文华说的那些艰涩专业术语，但是他记得很清楚，网上就说ASML公司就靠这个所谓的“浸润式”技术，打败了尼康IBM等公司所谓干式微影技术，成了光刻机的龙头。
这实际上是一种研发路线选择，一旦错了，满盘皆输！尼康IBM就是活生生的例子！