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第585章 国产光刻机崛起的希望!高通?小丑[3 / 5]

也收到了消息。

第一反应,假的!

可他们在反复验证后,又不得不相信,星源科技和燕京光电所,还真把EUV光源技术给搞了出来。

并且,还成功绕过了阿斯麦、卡尔蔡司、山星、湾积电和Cymer构筑的专利防御墙。

两个小时后,李青松接到胡锐晖的电话。

“先封锁消息,让安国协会的工作人员立刻赶到沪城,所有参与了研发过程的人员,一律签署保密条例。”

李青松在明白这项技术的重要性后,脸色瞬间变得凝重起来,冲着一旁的秘书吩咐道。

他在星源科技身上,看到了国产光刻机崛起的希望!

“好的,李先生。”秘书不敢耽搁,抓起电话就开始联系安国协会,将需要签署保密条例的人员名单、对接流程一一梳理清楚。

李青松则站在办公室的玻璃窗前,望着燕京灰蒙蒙的天空,不由地陷入了沉思。

星源科技在EUV光源领域的技术突破,像一道惊雷,劈开了自研光刻机路上的迷雾,可随之而来的,还有无数即将袭来的暗流。

一旦消息泄露,阿斯麦、卡尔蔡司那些国际巨头绝不会坐视不理,要么通过专利诉讼拖延进度,要么联合供应链施压,甚至可能动用盘外力量干预。

毕竟,半导体行业从来都不只是单纯的技术竞争,背后牵扯着太多的利益博弈。

星源科技的发展让人出乎意料!

与此同时。

沪城星源科技的光学研究实验室里,林南正带领团队进行第三次稳定性测试。

屏幕上跳动的数据流显示,13.5纳米波长的极深紫外光输出强度稳定在92%以上,能量转换效率为7.1%,远超阿斯麦所掌握的LPP光源。

这个数据,已经达到了商用标准!

但接下来,还有很多巨大的挑战和不确定性。

比如,脉冲放电和等离子体本身会产生巨大热量,旋转靶和液膜都需要极强的冷却能力,目前的热管理技术就不匹配。

开辟一条新路,虽然可以独享,但配套设备和技术都得自己慢慢摸索。

道阻且长!

……

……

傍晚时分,陈延森在下班后,并没有回三角洲别墅区,而是赶到机场,乘坐湾流550飞往庐州。

明天下午两点,天工科技将在庐州会议中心

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