姐妹俩听得一头雾水,但不明觉厉。
市委书记和市长此前做过国产光刻机的调研和考察工作,大概能听懂,来之前也做过功课,听到苏云杉报出的一组组参数,除了震惊还是震惊。
苏云杉接着报出一组极具含金量的核心参数。
“设备套刻精度控制在1.2纳米以内,单次曝光分辨率可达8纳米,配合多重曝光工艺,量产端可稳定实现1nm制程芯片规模化投产。
实验室极限工艺下,可完成0.5nm制程芯片的试产、迭代和良率测试。
同时,整机晶圆吞吐量可达每小时120片,单台设备年产能能够支撑数十万片先进制程晶圆产出,完全满足车载智控芯片、高端手机、AI算力芯片的量产需求。”
哇——
市领导和校领导又是一惊!
“整台设备核心国产化率达到100%,从真空腔体、精密运动工件台、双工件台换片系统,到光源模组、光学镜头、精密校准控制系统,全部实现自主设计、自主制造,彻底摆脱海外核心零部件的技术垄断。”
苏云杉最后总结道:“总之一句话,我可以负责任地告诉各位领导,这是当今世界上最先进的光刻机。”
天呐——
无尘实验室一片沉寂,安静得只能听到各自的心跳声和呼吸声。
市领导和校领导很清楚,0.5nm实验室试产、1nm规模化量产、100%国产化率,这三组数据意味着什么。
此前全球高端光刻领域,EUV技术被阿斯麦尔独家垄断,国内先进制程芯片始终被卡在瓶颈,如今这台国产设备的问世,堪称弯道超车,直接跳过EUV,站在HighNAEUV的领头羊位置。
但……
数据终归是数据……
实际能做到吗?
这个问题,皇甫君也想知道,没等市领导开口,她先忍不住道:“苏总,要不…现在开启测试?”
这话问到了所有人的心坎里,一个个面露期待,包括教授、研究员、副教授等协作团队。
他们只是按照苏云杉的要求制造零件、组装、调试,对于能否系统化运转,甚至达到设计要求,并不确定。
苏云杉抬起腕表看时间,“刚好9点整,好,请工作人员就位,听我指令,正式开启首次测试。”
一位工程师紧张
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